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  刻蝕(ET):LAM 9400、9600

 

  AMAT CENTURA II&I

 

  AMAT SEMVision G2

 

  離子注入(DF):VARIAN

 

  EATON(axcelis)

 

  NISSIN

 

  AMAT PI9500 9200

 

  光刻(PH):NIKON NSR

 

  ASML 5500

 

  太陽能光伏PECVD:centrotherm(管式鍍膜)Roth&Rau(平板式鍍膜德國)

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